本橋 光也 教授
氏名 | 本橋 光也 もとはし・みつや Mitsuya Motohashi, Ph.D.,Professor |
役職 | 工学博士、工学部教授 |
専門分野 | 半導体工学 |
研究室
情報通信デバイス研究室 - Semiconductor Device Laboratory -
現在の情報通信は、高度な産業技術によって作られる半導体デバイスを用いて行われています。この情報通信の性能を向上させるためには、半導体デバイス材料の高品質化が重要になります。
当研究室では、シリコン系の半導体薄膜材料の品質向上と、この材料を用いた電子デバイスへの応用について研究しています。
当研究室では、シリコン系の半導体薄膜材料の品質向上と、この材料を用いた電子デバイスへの応用について研究しています。
主な研究テーマ
- 原料ガス分離分解型プラズマCVD法による高品質Si系アモルファス半導体の薄膜の作製
- アモルファス炭化Siおよび窒化Siの構造解析
- 多孔質ガスセンサーの作製とデバイス特性